| 專利名稱 | 一種有機無機混合集成的可變光衰減器及其制備方法 | ||
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| 申請?zhí)?專利號 | CN202111438405.X | 專利權人（第一權利人） | 吉林大學 |
| 申請日 | 2021-11-30 | 授權日 | 2024-04-19 |
| 專利類別 | 授權發(fā)明 | 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 | 雙五星 |
| 技術主題 | 電極|折射率|工程學|轉換器|波導管|聚合物|摻磷|有機無機|二氧化硅|聚合物波導|鍺|材料科學|光開關|光衰減器 | ||
| 應用領域 | 光波導的耦合|光波導光導 | ||
| 意向價格 | 具體面議 | ||
| 專利概述 | 一種有機無機混合集成的可變光衰減器及其制備方法，屬于平板光波導器件及其制備技術領域，由硅襯底、二氧化硅下包層、條形結構的摻鍺的二氧化硅輸入波導和摻鍺的二氧化硅輸出波導、基于垂直MMI結構的層間轉換器、摻硼和磷的二氧化硅上包層、1×1馬赫曾德熱光開關、聚合物上包層和加熱電極組成，輸入波導和輸出波導的折射率大于二氧化硅上包層的折射率。本發(fā)明垂直MMI結構緊湊，以聚合物熱光開關型VOA器件取代了傳統(tǒng)無機PLC的VOA器件，實現(xiàn)了光從下層無機波導向上層聚合物波導的傳輸，本發(fā)明高效率地調節(jié)光傳輸功率，器件功耗低，實現(xiàn)了有機無機光子器件的單片集成，與現(xiàn)有二氧化硅PLC工藝相兼容，易于大規(guī)模生產(chǎn)，成本低。 | ||
| 圖片資料 |
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| 合作方式 | 具體面議 | ||
| 聯(lián)系人 | 戚梅宇 | 聯(lián)系電話 | 13074363281 |
